ジルコニア式酸素分析計(O2計)

TF-21D201

TF-21型センサ
TF-21型センサ
DTF-201型受信器
DTF-201型受信器

製品の主な特徴

  • センサ、受信器をご希望の場所に設置可能
  • 軽量かつ小型で、各種装置への組み込みが容易
  • 微量濃度測定に対応(最小:0~10ppmレンジ)

用途

  • 半導体製造装置、各種N2炉内雰囲気測定、空気分離装置

仕様

形式 TF-21D201(TF-21型センサ+DTF-201型受信器)
測定原理 ジルコニア濃淡電池方式
測定レンジ Min.0~10ppm ~ MAX.0~25% ゼロ点固定で任意の4レンジ選択可能
※出力レンジ設定は 0~10ppm ~ 0~100%まで設定可能
校正 エア点 + MAX.4点校正可能(測定レンジ毎の校正が可能)
アナログ出力 DC 4~20mA 非絶縁出力、負荷抵抗600Ω以下
DC 0~1V / DC 0~5V/ DC 0~10V 1点選択(非絶縁出力)
サンプルガス・ 校正ガス流量 0.5L/min
精度 繰返し性 ±1%FS(0~1%レンジ未満)、±0.5%FS(0~1%レンジ以上)
直線性 ±3%FS(0~100ppmレンジ未満)、±2%FS(0~1%レンジ未満)、±1%FS(0~1%レンジ以上)
応答時間 30秒以下(0~1%レンジ未満)、10秒以下(0~1%レンジ以上)(校正ガス切替による90%応答)
ドリフト ±2%FS/週 以下
電源 AC仕様:AC 100~240V±10% 50/60Hz 50VA
DC仕様:DC 24V±10% 50W
接点入力 レンジ切替(無電圧接点)
接点出力 オープンコレクタ出力 DC 25V max.50mA
接点数:4出力
選択内容:分析計異常/レンジエコーバック1/レンジエコーバック2/レンジエコーバック3/READY/濃度上限警報/濃度下限警報
レンジ切替 ローカルレンジ切替 / リモートレンジ切替 / オートレンジ切替
出力ホールド機能 出力ホールド値設定:ホールド無し※ / 任意の値 / 異常発生5秒前の値
※暖機中、分析計異常発生中はホールド
濃度上下限警報 上限警報:0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能
下限警報:0.0~9990.0ppm or 0.0~100.0% 設定可能
RS232C通信機能 測定状態、エラーコード、測定レンジ、測定値を送信
通信ケーブル仕様:D-SUB9ピン、ストレートケーブル

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